Applikazzjonijiet Speċifiċi ta' Cleaners tal-Plażma

Magni tat-tindif/inċiżjoni tal-plażma jiġġeneraw plażma billi jqiegħdu żewġ elettrodi f'kontenitur issiġillat biex joħolqu kamp elettriku. Pompa tal-vakwu tintuża biex iżżomm ċertu livell ta 'vakwu. Hekk kif il-gass isir dejjem aktar rari, id-distanza bejn il-molekuli u l-moviment ħieles ta 'molekuli jew joni tiżdied ukoll. Taħt l-influwenza tal-kamp elettriku, dawn il-jonji jaħbtu u jiffurmaw plażma. Dawn il-joni huma reattivi ħafna, b'enerġija biżżejjed biex ikissru kważi r-rabtiet kimiċi kollha, u jinduċu reazzjonijiet kimiċi fuq kwalunkwe wiċċ espost. Plażmi tal-gass differenti għandhom proprjetajiet kimiċi differenti. Pereżempju, il-plażma ta 'l-ossiġnu hija ossidanti ħafna, kapaċi jossidaw il-fotoreżist biex tipproduċi gass, u b'hekk tikseb effett ta' tindif. Il-plażma tal-gass korrużiv għandha anisotropija eċċellenti, li tissodisfa r-rekwiżiti tal-inċiżjoni. It-trattament tal-plażma jipproduċi glow, għalhekk l-isem glow discharge.
Il-mekkaniżmu tat-tindif tal-plażma jiddependi primarjament fuq l-"attivazzjoni" ta 'partiċelli attivi fil-plażma biex jitneħħew it-tbajja' tal-wiċċ. F'termini tal-mekkaniżmu ta 'reazzjoni, it-tindif tal-plażma ġeneralment jinvolvi l-proċess li ġej: gassijiet inorganiċi huma eċċitati fi stat tal-plażma; sustanzi gassużi huma adsorbiti fuq il-wiċċ solidu; il-gruppi adsorbiti jirreaġixxu ma 'molekuli fuq il-wiċċ solidu biex jiffurmaw molekuli tal-prodott; il-molekuli tal-prodott jiddekomponu fil-fażi tal-gass; u r-residwi tar-reazzjoni jitneħħew mill-wiċċ.

L-iktar karatteristika sinifikanti tat-teknoloġija tat-tindif tal-plażma hija li tista 'tittratta kwalunkwe tip ta' sottostrat, inklużi metalli, semikondutturi, ossidi, u l-biċċa l-kbira tal-materjali tal-polimeru bħal polypropylene, polyester, polyimide, polyvinyl chloride, epoxy, u anke polytetrafluoroethylene. Jista 'jnaddaf kemm il-wiċċ kollu kif ukoll żoni speċifiċi, kif ukoll strutturi kumplessi.